클린룸(Clean room) 주요정보/기술자료(Data)
클린룸(클린부스) 청정도 기준
이차돌사단=LEE부장
2025. 6. 22. 09:59
◎ 국제표준화기구 : ISO 14644-1 (per cubic meter)
◎ 미국연방정부표준 : Fed std. 209E USA (per cubic feet)
1 cubic meter = 35.314 cubic feet
