온,습도 센서
'파손주의' 절대로 손대지 마십시오.
공조기의 Main Return Duct 에 설치되어 있으며,
클린룸에서 Return(공조기로 흡입) 되는 공기의 온도, 습도를 측정하여 MICOM Controller 로 보냅니다.
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