ISO(국제표준화규격)과 Fed(미연방규격)의 차이

 ※ 국제표준화기구 ISO(International Organization of Standardization)에서

    클린룸에 관한 국제통합규격 제정

 

     * ISO-9000 시리즈 (품질경영시스템)

     * ISO-14000 시리즈 (환경경영시스템)

     * ISO-14644-1 (청정실 및 청정구역의 공기청정도 클래스 구분 및 시험) 에서

       ft³(입방피트) 당 Particle 수에서 ㎥(입방미터) 당 Particle 수로 표기하기로 변경

     * 청정도 측정 시 CFM(ft³/min) 을 CMM(㎥/min) 으로 단위변환이 필요

 

              * ISO 규격 : ㎥(입방미터) 당 공기입자 수

              * CMM (Cubic Meter per Minute) : 분당 흡입&토출 공기량

              * CMH (Cubic Meter per Hour) : 시간당 흡입&토출 공기량                 

              * CMH ÷ 60 = CMM

            * 0.5㎛기준 단위변환 : 1 ㎥(입방미터) = 35.317 ft³(입방피트)         

                              

ISO-14644-1 (국제표준화기구)	Fed-209E (미연방규격)
Class 3	Class 1
Class 4	Class 10
Class 5	Class 100
Class 6	Class 1,000
Class 7	Class 10,000

 

                                    * Fed 규격 : ft³(입방피트) 당 공기입자 수

                           * CFM (Cubic Feet per Minute)

                                * CMM (Cubic Meter per Minute)