미국 : SCFM (Standard Cubic Feet per Minute)
일본 : Nl/min (Normal Liter per Minute)
* Normal : 온도 20℃, 대기압상태에서의 기체상태
* 국제표준화기구 ISO (International Organization of Standardization) 에서 클린룸에 관한 국제통합규격 제정
* ISO-9000 시리즈 (품질경영시스템)
* ISO-14000 시리즈 (환경경영시스템)
. ISO-14644-1 (청정실 및 청정구역의 공기청정도 클래스 구분 및 시험) 에서
ft³(입방피트) 당 Particle 수에서 ㎥(입방미터) 당 Particle 수로 표기하기로 변경
. 청정도 측정 시 CFM(ft³/min) 을 CMM(㎥/min) 으로 단위변환이 필요
* CMM (Cubic Meter per Minute) : 분당 흡입&토출 공기량
* CMH (Cubic Meter per Hour) : 시간당 흡입&토출 공기량
1 ㎥(입방미터) = 35.317 ft³(입방피트)
1 ft³(입방피트) = 0.028 ㎥(입방미터)
1 l (리터) = 0.001 ㎥(입방미터)
1 ㎥(입방미터) = 1,000 l (리터)
1 l (리터) = 0.035 ft³(입방피트)
1 ft³(입방피트) = 28.315 l (리터)
'클린룸(Clean room) 주요정보 > 기술자료(Data)' 카테고리의 다른 글
| ISO(국제표준화규격)과 Fed(미연방규격)의 차이 (0) | 2015.04.28 |
|---|---|
| 열량(Calorie) (0) | 2015.03.23 |
| 단위변환표 (0) | 2015.03.14 |
| Clean room set up Master Plan(공사스케줄) & Diagram (0) | 2014.12.31 |
| 클린룸 [Clean room] (0) | 2014.12.25 |