헤파필터(Hepa Filter = High Efficiency Particulate Air = 고효율 필터) : 0.3㎛ 입자 99.97% 제거 효율울파필터 (Ulpa Filter = Ultra-Low Particulate Air = 초고성능 필터) : 0.12㎛ 입자 99.999% 제거 효율 출처 : 원리사전

출처 : 권오길이 찾은 발칙한 생물들

1 마이크로미터(㎛, 마이크론, 미크론) = 1/1,000mm = 1/1,000,000m 출처 : 다음백과         출처 : 위키백과

출처 : 마로솔

클린룸 시스템 : 수직층류형면적(㎡) : 가로 x 세로 (* 면적 x 0.3025 = 평) 체적(㎥) : 가로 x 세로 x 높이청정도(Class) & 환기횟수 : ISO 5-100C(200~400회/h),  ISO 6-1,000C(50~70회/h),  ISO 7-10,000C(30~40회/h),                                             ISO 8-100,000C(20~30회/h)공조풍량(온도±2℃기준) : 체적 x 15회/h x 안전율 (* 실내 열부하, 급배기량)              (온도±1℃기준) : 체적 x 30회/h x 안전율 (* 실내 열부하, 급배기량)              (온도±0.5℃기준) : 체적 x 60회/h x 안전율 (* 실내 열부하, ..