미국 : SCFM (Standard Cubic Feet per Minute)일본 : Nl/min (Normal Liter per Minute) * Normal : 온도 20℃, 대기압상태에서의 기체상태 * 국제표준화기구 ISO (International Organization of Standardization) 에서 클린룸에 관한 국제통합규격 제정 * ISO-9000 시리즈 (품질경영시스템) * ISO-14000 시리즈 (환경경영시스템) . ISO-14644-1 (청정실 및 청정구역의 공기청정도 클래스 구분 및 시험) 에서 ft³(입방피트) 당 Particle 수에서 ㎥(입방미터) 당 Particle 수로 표기하기로 변경 . 청정도 측정 시 CFM(ft³/min)..