※ 국제표준화기구 ISO(International Organization of Standardization)에서
클린룸에 관한 국제통합규격 제정
* ISO-9000 시리즈 (품질경영시스템)
* ISO-14000 시리즈 (환경경영시스템)
* ISO-14644-1 (청정실 및 청정구역의 공기청정도 클래스 구분 및 시험) 에서
ft³(입방피트) 당 Particle 수에서 ㎥(입방미터) 당 Particle 수로 표기하기로 변경
* 청정도 측정 시 CFM(ft³/min) 을 CMM(㎥/min) 으로 단위변환이 필요
* ISO 규격 : ㎥(입방미터) 당 공기입자 수
* CMM (Cubic Meter per Minute) : 분당 흡입&토출 공기량
* CMH (Cubic Meter per Hour) : 시간당 흡입&토출 공기량
* CMH ÷ 60 = CMM
* 0.5㎛기준 단위변환 : 1 ㎥(입방미터) = 35.317 ft³(입방피트)
| ISO-14644-1 (국제표준화기구) | Fed-209E (미연방규격) |
| Class 3 | Class 1 |
| Class 4 | Class 10 |
| Class 5 | Class 100 |
| Class 6 | Class 1,000 |
| Class 7 | Class 10,000 |
* Fed 규격 : ft³(입방피트) 당 공기입자 수
* CFM (Cubic Feet per Minute)
* CMM (Cubic Meter per Minute)
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