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클린룸(Clean room) 주요정보/기술자료(Data)

양압유지관리

이차돌사단=LEE부장 2018. 11. 6. 13:39

□ 양압유지의 필요성

   - 실내 근무자에 필요한 신선한 공기를 공급

   - 외부 먼지 및 이물의 실내 유입을 방지

□ 양압유지용 풍량

   1. 실내 근무자의 신선외기 도입량 : 35 CMH(㎥/h) 이상

   2. 양압유지용 신선외기 도입량 : 체적 x 1회/h 이상

   ※. 1과 2 중에 큰 것을 적용

   ※. 실내 장비의 배기량이 있을 경우 배기량보다 조금 더 신선외기(Out Air) 추가로 도입

차압계의 압력이 떨어지는 경우 아래사항을 확인하세요!

   - Door Opened 여부

   - 개구부(에어샤워 자동문 하부, Conv' or Chute, 비상구 하부) 등 확인

   - 외기도입장치(Fan)의 가동(고장) 및 필터 막힘 여부 확인

     - 실내 출입구 및 개구부 closed 

  Relief damper(릴리프 댐퍼) :

     - 양압 배기용 댐퍼, 외부 먼지의 유입 방지

     - 외기 도입량에 따라 자동으로 작동

 

차압계 : 실 간 압력차를 표시

- 사용 전 zero point 맞추기 (차압계 설치 후 고압과 저압측의 호스구멍을 막고 마이너스드라이버로 조절)

- 클린룸과 클린룸 간의 압력차 : + 0.5mmAq ~ 1.0mmAq

- 클린룸과 일반실 간의 압력차 : + 1.0mmAq ~ 1.5mmAq

 

 

 

 

 

 

 

 

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