□ 양압유지의 필요성
- 실내 근무자에 필요한 신선한 공기를 공급
- 외부 먼지 및 이물의 실내 유입을 방지
□ 양압유지용 풍량
1. 실내 근무자의 신선외기 도입량 : 35 CMH(㎥/h) 이상
2. 양압유지용 신선외기 도입량 : 체적 x 1회/h 이상
※. 1과 2 중에 큰 것을 적용
※. 실내 장비의 배기량이 있을 경우 배기량보다 조금 더 신선외기(Out Air) 추가로 도입
★ 차압계의 압력이 떨어지는 경우 아래사항을 확인하세요!
- Door Opened 여부
- 개구부(에어샤워 자동문 하부, Conv' or Chute, 비상구 하부) 등 확인
- 외기도입장치(Fan)의 가동(고장) 및 필터 막힘 여부 확인
- 실내 출입구 및 개구부 closed
Relief damper(릴리프 댐퍼) :
- 양압 배기용 댐퍼, 외부 먼지의 유입 방지
- 외기 도입량에 따라 자동으로 작동
차압계 : 실 간 압력차를 표시
- 사용 전 zero point 맞추기 (차압계 설치 후 고압과 저압측의 호스구멍을 막고 마이너스드라이버로 조절)
- 클린룸과 클린룸 간의 압력차 : + 0.5mmAq ~ 1.0mmAq
- 클린룸과 일반실 간의 압력차 : + 1.0mmAq ~ 1.5mmAq
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