* CFM (Cubic Feet per Minute) :
ft³(입방피트)/min (입방피트 내의 분당 흡입 & 토출 공기량)
* CMM (Cubic Meter per Minute) :
㎥(입방미터)/min (입방미터 내의 분당 흡입 & 토출 공기량)
* CMH (Cubic Meter per Hour) :
㎥(입방미터)/h (입방미터 내의 시간당 흡입 & 토출 공기량)
* CMH ÷ 60 = CMM
| ISO-14644-1 (국제표준화기구) | Fed-209E (미연방규격) |
| Class 3 | Class 1 |
| Class 4 | Class 10 |
| Class 5 | Class 100 |
| Class 6 | Class 1,000 |
| Class 7 | Class 10,000 |
* ISO 규격 : ㎥(입방미터) 당 공기입자 수
* Fed 규격 : ft³(입방피트) 당 공기입자 수
* (0.5㎛기준)단위변환 : 1 ㎥(입방미터) = 35.317 ft³(입방피트
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